01تطوير معدات مقاومة للضوء : خلف الكواليس حارس عملية الطباعة الحجرية

في عملية الطباعة الحجرية تصنيع أشباه الموصلات ، مقاومة للضوء تطوير المعدات و photoetching آلة تحتاج إلى العمل معا من أجل تحقيق دقة عملية الطباعة الحجرية . قبل التعرض ، مقاومة للضوء المغلفة بالتساوي على سطح رقاقة . بعد الانتهاء من التعرض ، وتطوير جهاز يعالج رقاقة وتطوير نمط الطباعة الحجرية التي شكلتها التعرض . متطلبات أداء المعدات في العملية برمتهاعالية جدامن أجل ضمان دقة واستقرار عملية الطباعة الحجرية ، وضمان جودة تصنيع أشباه الموصلات الجهاز ، من الضروري الانتهاء من الاستجابة في ميلي ثانية واحدة ، وفي الوقت نفسه ضمان دقة عملية نانومتر .

ومبدأ المعدات :

وصلة الإلتصاق :مقاومة للضوء هو موحد غطت على سطح رقاقة من نوع دوارة أو رذاذ نوع .ساكنة تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور تدور . دينامية تدور الطلاء هو عملية إسقاط الغراء على رقاقة في حين تناوب على سرعة منخفضة ، ثم تسريع دوران ، والانتهاء من عملية إسقاط الغراء وتقلب المذيبات . رذاذ مقاومة نوع رذاذ مقاومة للضوء على سطح رقاقة في شكل رذاذ مقاومة من خلال فوهة التي تتحرك ذهابا وإيابا في مسار معين من خلال رذاذ مقاومة الجهاز .

وضع الرابط : بعد التعرض رقاقة معالجة المطور ، المطور هو عادة الحمضية أو القلوية الحل ، يمكن حل مقاومة للضوء أو تغيير الخصائص الفيزيائية ، بحيث يمكن إزالتها بسهولة . في عملية التنمية ، رقاقة غارقة في المطور لفترة من الوقت ، المطور سوف تتفاعل كيميائيا مع مقاومة للضوء .غير مكشوف مقاومة للضوء هو حل أو الاحتفاظ بها ، وبالتالي تشكيل نمط المقابلة قناع لوحة .

والتحديات الأساسية :

المفتاح هو الغراءمن أجل السيطرة على سمك و التوحيد من فيلم الغراء ، من الضروري التحكم في سرعة الدوران ، الغراء إسقاط نقطة بدقة .

في عملية التنمية ، دقة تحديد المواقع رقاقة ، التوحيد من المطور رذاذ تؤثر بشكل مباشر على دقة linewidth حافة خشونة من نمط .

متطلبات التحكم فائقة الدقة :سرعة الدوران والاستقرار من آلة طلاء مقاومة للضوء يجب أن تسيطر عليها في مجموعة صغيرة جدا من أجل ضمان التوحيد من مقاومة للضوء سمك .

دقة التحكم في درجة الحرارة :التحكم في درجة الحرارة في غرفة الخبز يجب أن تصل إلى معيار صارم مع الخطأ لا يتجاوز 0.1 درجة .

رقاقة معالجة الأمن :رقاقة يجب أن تبقى مستقرة أثناء تجهيز ونقل بين المعدات لتجنب الضرر .

الاستقرار الكيميائيالمكونات الرئيسية في المعدات يجب أن تكون مقاومة للتآكل على المدى الطويل من مختلف المواد الكيميائية

02تطبيق تكنولوجيا النانو كهرضغطية في تطوير معدات طلاء الغراء

مزايا تكنولوجيا النانو كهرضغطية :

1 . نانومتر لتحديد المواقع القرار :من خلال عكس تأثير كهرضغطية السيراميك ، نانو التشرد السيطرة يمكن أن تتحقق ، والتي يمكن أن تتطابق مع متطلبات نانو فيلم سمك في عملية الطلاء .

2 - الاستجابة الديناميكية في الألف :كهرضغطية محرك الأقراص لا يكاد أي انتقال الميكانيكية الفجوة ، زمن الاستجابة يمكن أن تصل إلى ميلي ثانية واحدة ، يمكن أن تكون مطابقة مع حلقة مغلقة نظام التغذية المرتدة ، في الوقت الحقيقي تتبع رقاقة عالية السرعة التناوب أو رذاذ الكلمات لتحديد المواقع بسرعة ، وتجنب حركة التباطؤ الناجم عن نمط الإزاحة .

3 . لا احتكاك , اهتزاز منخفضة تصميم :كهرضغطية نانو منصة تعتمد على الاحتكاك مرنة المفصلي دليل الآلية ، مما يقلل من ارتداء الميكانيكية . الاهتزاز السعة التي تسيطر عليها في نطاق نانومتر في وقت التشغيل ، وبالتالي تجنب الخطأ الناجم عن الاهتزاز الميكانيكية التقليدية محرك الأقراص .

03تكنولوجيا النانو كهرضغطية الأساسية غدا : حقن " روح الدقة " في وضع طلاء المعدات

شين مينغنانو كهرضغطية تحديد الجدول

كهرضغطية نانو لتحديد المواقع منصة تعتمد على السيراميك كهرضغطية كمصدر محرك الأقراص ، جنبا إلى جنب مع مرونة المفصلي آلية لتحقيق دقة الحركة من المحور السيني ، Z - المحور ، المحور السيني ، XYZ ، XYZ المحور ستة محاور . فائدة نموذج لديها مزايا الحجم الصغير ، لا احتكاك ، سرعة استجابة سريعة ، وما إلى ذلك مع أجهزة الاستشعار عالية الدقة ، نانومتر القرار وتحديد المواقع بدقة يمكن أن تتحقق ، كهرضغطية نانو الأساسية لتحديد المواقع الجدول يلعب دورا هاما في مجال تحديد المواقع بدقة .

h64 سلسلة ستة محور كهرضغطية نانو لتحديد المواقع الجدول

h64 سلسلة فائقة الدقة كهرضغطية نانو لتحديد المواقع الجدولكهرضغطية السيراميك يستخدم محرك الأقراص المصدر ، جنبا إلى جنب مع آلية مرنة المفصلي ، كهرضغطية منصة قادرة على تحقيق ستة الأبعاد حركة دقيقة من المحور السيني ، المحور الصادي ، محور Z ، ثيتا س ، ثيتا ص و ثيتا ض يمكن أن تتحقق . open-loop النسخة المتاحة ، حلقة مغلقة دقة تحديد المواقع يمكن أن تصل إلى 0.1 في المائة و هو مناسب جدا عالية الدقة لتحديد المواقع التطبيقات .

مميزات

▲ س ، ص ، ض ، ثيتا س ، ثيتا ص ، ثيتا ض ستة محور الحركة

▲ اختياري حلقة مغلقة استشعار ردود الفعل

▲ قدرة تحمل تصل إلى 10 كجم

▲ فائقة الدقة

المعلمات التقنية

h64a.xyztr2s / k-c سلسلة ستة محور كهرضغطية نانو لتحديد المواقع الجدول

h64a.xyztr2s / k-c سلسلة من ستة محاور الحركة كهرضغطية نانو لتحديد المواقع الجدول س ، ص ، ض ، θ س ، θ ذ ، θ ض ، والتي يمكن أن تولد حركة فائقة الدقة ستة محاور ، تنطبق على موقف ثابت وديناميكية التكيف . الداخلية من المواقع منصة مصممة مع آلية موازية ، والتي يمكن تحقيق أفضل ديناميكية الأداء . عالية الأداء كهرضغطية السيراميك يمكن أن ندرك التشريد الخطي × 9 / ص ± 9.5 / z155 μ m و انحراف زاوية ثيتا ثيتا ص ± 1.1 / ثيتا ض ± 1mrad . . . . . . . حلقة مغلقة تصميم الجسر الكامل يتجنب الانجراف درجة الحرارة ويضمن دقة تحديد المواقع على مستوى النانومتر .

مميزات

▲ ستة الأبعاد س ، ص ، ض ، ثيتا س ، ثيتا ص ، ثيتا ض محور الحركة

▲ خط مستقيم السكتة الدماغية : س ± 9 / ص ± 9.5 / z155 μ m

▲ انحراف السكتة الدماغية : ثيتا x θ y ± 1.1 / ثيتا z ± 1mrad

▲ حلقة مغلقة لتحديد المواقع عالية الدقة

▲ اعتماد آلية موازية في الداخل ، يمكن تحقيق أفضل ديناميكية

▲ تحميل تصل إلى 12 كجم

المعلمات التقنية

ملاحظة : المعلمات أعلاه تقاس e00.d6k04 كهرضغطية تحكم . الحد الأعلى من الجهد القيادة يمكن أن تكون - 20V ~ 150V . على المدى الطويل استخدام موثوق بها للغاية ، فمن المستحسن أن محرك الجهد 0 ~ 120V .

المحرك كهرضغطية السيراميك الأساسية

في عملية وضع الغراء ، كهرضغطية السيراميك المحرك يمكن التحكم بدقة : صمام فتح وإغلاق الدقة ، رذاذ الغراء ، رقاقة نقل غرامة التكيف ، وهلم جرا . المحرك كهرضغطية السيراميك الأساسية تمتلك استجابة سريعة للغاية وقت ميكروثانية ، وتواتر تصل إلى عدة آلاف من هرتز و التشرد ميكرون ، وبالتالي ضمان استقرار العملية من المعدات في سرعة عالية .

أسطواني المحرك كهرضغطية

أسطواني المحرك كهرضغطية مغلفة السيراميك كهرضغطية كومة في الداخل و الخارج محمي من قبل أسطواني الفولاذ المقاوم للصدأ قذيفة الخارجي ، كهرضغطية السيراميك كومة من خلال تطبيق pretightening القوة الميكانيكية قذيفة الخارجي ، وارتفاع الميكانيكية الداخلية preload القوة يمكن أن تكون مناسبة لارتفاع الأحمال عالية التطبيقات الديناميكية . فائدة نموذج يمكن إخراج النزوح الناتج من كومة من السيراميك كهرضغطية ، ويمكن أن تحمل بعض التوتر .

√ هيكل محرك الأقراص مباشرة :

كهرضغطية السيراميك المحرك يعتمد هيكل محرك الأقراص مباشرة من نوع كهرضغطية السيراميك ، والتي لديها مزايا عالية الانتاج وسرعة الاستجابة . الجزء العلوي والجزء السفلي من المحرك كهرضغطية مغلفة على التوالي ثابتة من خلال المواضيع المسمار ، وتحديد طرق يمكن تخصيصها ، مثل المواضيع المسمار الخارجي ، الصفحات الداخلية ، الكرة رؤساء ، رؤساء شقة ، الخ .

مميزات

▲ نانومتر القرار

▲ يمكن أن تحمل بعض الضغط

▲ حلقة مغلقة عالية الدقة

▲ التشرد تصل إلى 190

▲ انتاج ما يصل الى 25000n

المعلمات التقنية

معدن ختم نوع المحرك كهرضغطية

المعدن ختم نوع المحرك كهرضغطية مغلقة تماما بسبب الغلاف الخارجي ، وبالتالي تحقيق العزل من الغلاف الجوي والبيئة ، وبالتالي أقل المتضررين من الرطوبة البيئية ، والخدمة الطويلة في الحياة ، والأداء العالي ، هو مناسبة جدا لمختلف التطبيقات التي تتطلب موثوقية عالية من أجهزة أشباه الموصلات تصنيع المعدات ، ومعدات الاتصالات البصرية ، الخ .

مميزات

▲ موثوقية عالية : يمكن تحقيق MTTF = 36000 ساعة في 85 ℃ و 100V

▲ دقة تحديد المواقع نانو

▲ الحد الأدنى من ارتداء الميكانيكية

▲ درجة حرارة التشغيل : - 25 ℃ 85 ℃ أو - 40 ℃ 150 ℃

▲ أقصى قدر من الانتاج تصل إلى 3600n

▲ محرك الجهد : 0 ~ 150V

▲ المدمج في آلية التحميل المسبق وتركيب الملحقات لتسهيل تركيب المعدات

ملاحظة : mttf يعني الوقت قبل الفشل .

نموذج على سبيل المثال

h550c801wd1-a0lf هي واحدة من العديد من النماذج من المعدن ختم المحرك كهرضغطية الأساسية ، مع السكتة الدماغية تصل إلى 55 ميكرون و الإخراج تصل إلى 800n . عالية الأداء القياسية يجعلها مناسبة جدا لقيادة صمام التحكم في التدفق ، وتلبية متطلبات موثوقية عالية ودقة عالية من السائل صمام التحكم في التدفق على قيادة أجزاء . هناك العديد من النماذج للاختيار من بينها ، ودعم المعلمة التخصيص .

المعلمات التقنية

لمزيد من التفاصيل يرجى الاتصال الأساسية غدانحن !