-
البريد الإلكتروني
fcybkj@163.com
-
الهاتف
18936753178
-
العنوان
حديقة صناعية ، جينهو مقاطعة ، مدينة هوايان
Huai'an Feichuang Instrument Technology Co., Ltd
كيفية ضمان دقة درجة حرارة رقاقة النمو الحرارية تدريج
التاريخ:2025-10-13اقرأ:7
رقاقة أشباه الموصلات الركازة الأساسية ، عملية النمو ( على سبيل المثال ، Czochralski ، منطقة الانصهار ) يتطلب درجة حرارة عالية الدقة ، حتى لو كان الانحراف في درجة الحرارة فقط ± 1 ℃ ، قد يؤدي إلى رقاقة المنشطات غير موحدة ، شعرية عيب ، تؤثر تأثيرا مباشرا على رقاقة الأداء . المزدوجات الحرارية هي العناصر الأساسية لقياس درجة الحرارة رقاقة معدات النمو ، مثل الكريستال واحد فرن .الحرارية تدريجمن خلال دقة المعايرة والرصد في الوقت الحقيقي ، فإنه يصبح أداة رئيسية لضمان دقة درجة الحرارة رقاقة النمو .
من حيث المبدأ الأساسي ، الحرارية تدريج يدرك دقة التحكم في درجة الحرارة من خلال " معيار تتبع + تصحيح الخطأ " . المدمج في جهاز استشعار درجة الحرارة القياسية مع ارتفاع الاستقرار ( مثل البلاتين المقاومة ) يمكن أن تحاكي درجة الحرارة النموذجية المشهد ( 200-1600 درجة مئوية ) في عملية نمو رقاقة ، والتي تغطي متطلبات النمو من مختلف المواد رقاقة مثل السيليكون ، كربيد السيليكون ، وما إلى ذلك ) . على سبيل المثال ، في رقاقة السيليكون مباشرة سحب النمو ، عند درجة حرارة الفرن مجموعة واحدة 1420 درجة مئوية ( نقطة انصهار السيليكون ) ، معايرة أداة يمكن الكشف عن ما إذا كان هناك انحراف الحرارية ± 0.5 درجة مئوية ، إذا تجاوز عتبة الانتاج التلقائي إشارة التصحيح لضمان أن درجة الحرارة الفعلية و مجموعة قيمة متسقة .
في مرحلة التصحيح من المعدات قبل نمو رقاقة ، الحرارية تدريج يأخذ " قبل المعايرة " المسؤولية . المزدوجات الحرارية من الكريستال واحد فرن التي تم تركيبها حديثا أو توقفت لفترة طويلة قد يؤدي إلى الانجراف بسبب الأكسدة والشيخوخة . معايرة أداة يمكن الكشف عن درجة الحرارة الحرجة مثل 500 ℃ 1000 ℃ 1400 ℃ من خلال " متعدد نقطة المعايرة " طريقة للكشف عن الخطأ الخطي من المزدوجات الحرارية . من خلال اختبار في مصنع أشباه الموصلات ، وجد أن الخطأ هو ± 2 ℃ عندما الحرارية من الكريستال واحد فرن أكثر من 1200 ℃ . بعد إعادة معايرة ، شعرية سلامة رقاقة بنسبة 15 في المائة ، مما يقلل من فقدان المحصول في وقت لاحق في تصنيع رقاقة .
في الوقت الحقيقي رصد رقاقة النمو ، معايرة أداة يدرك " دينامية تصحيح " للتعامل مع مخاطر تقلبات درجة الحرارة . درجة الحرارة المحلية شذوذ قد يكون سببها تغيير السلطة التدفئة و تذبذب معدل تدفق غاز خامل ( مثل الأرجون ) في عملية النمو . معايرة أداة يمكن أن تكون مرتبطة مع نظام التحكم من الكريستال واحد فرن في الوقت الحقيقي ، وقياس درجة الحرارة الحرارية البيانات التي تم جمعها مرة واحدة في الثانية ، مقارنة مع معيار درجة الحرارة منحنى . عندما يتم الكشف عن درجة الحرارة الانحراف أكثر من ± 0.8 درجة مئوية ، قوة تنظيم الأوامر على الفور تشغيل - على سبيل المثال ، إذا كانت درجة الحرارة المحلية ترتفع فجأة 1.2 درجة مئوية في كربيد السيليكون رقاقة النمو ، مدقق يمكن أن ردود الفعل بسرعة ، مما يقلل من قوة نظام التدفئة ، وتجنب ذوبان العيوب على سطح رقاقة .
علاوة على ذلكالحرارية تدريجوعلاوة على ذلك ، فإن استقرار درجة الحرارة الدقة مكفولة من خلال تتبع البيانات . فإنه يمكن تلقائيا تسجيل الوقت ، درجة الحرارة نقطة ، قيمة الخطأ في كل معايرة ، شكل كامل تقرير المعايرة ، وتلبية متطلبات الامتثال الصارم في صناعة أشباه الموصلات ( مثل شهادة الأيزو 17025 المختبرات ) . وفي الوقت نفسه ، من خلال تحليل البيانات التاريخية ، والشيخوخة اتجاه المزدوجات الحرارية يمكن التنبؤ بها ، على سبيل المثال ، تسجيل بعض تدريج يدل على أن الخطأ من المزدوجات الحرارية يزيد بنسبة 0.1 درجة مئوية في الشهر ، وبالتالي فإن المصنع يمكن أن تحل محل المكونات في وقت مبكر ، وبالتالي تجنب رقاقة الخردة الناجمة عن فشل الحرارية .
بالمقارنة مع التقليدية دليل المعايرة ، معايرة الحرارية لديها مزايا واضحة : التقليدية تعتمد على عملية يدوية ، تستغرق وقتا طويلا ، والخطأ هو عرضة للتأثير على البيئة ، في حين أن المعايرة التلقائية يتحقق ، معايرة واحدة الوقت هو تقصير من 2 ساعة إلى 20 دقيقة ، ودقة من ± 1 درجة مئوية إلى ± 0.1 درجة مئوية . في صناعة أشباه الموصلات رقاقة الحجم ( على سبيل المثال ، 12 بوصة ، 18 بوصة ) ومتطلبات الأداء في ظل خلفية من التحسين المستمر ، الحرارية تدريج من خلال دقة وكفاءة التحكم في درجة الحرارة ، عالية الجودة رقاقة الإنتاج لتوفير الدعم التقني .
المقالة الأخيرة:كيفية ضمان دقة معايرة الضغط التلقائي معايرة الجهاز ؟
المقالة التالية:0 درجة الحرارة : مخبأة في دقة التحكم في درجة الحرارة " الشبح الجارديان "