في عالية الدقة تصنيع أشباه الموصلات ، الإلكترونيات الضوئية ، micronanomanufacturing وغيرها من الصناعات ، رقاقة طلاء ، تطوير ، والتنظيف وغيرها من التكنولوجيات الرئيسية التي تحتاج إلى الانتهاء من نقل ومعالجة في درجة عالية من التحكم في بيئة نظيفة من الدرجة الأولى ايزو . أي اضطراب تدفق الهواء الصغيرة ( مثل الدوامة الحالية ، سرعة الرياح المفاجئ ) أو سرعة الرياح الشاذة ( عالية جدا أو منخفضة جدا ) يمكن أن يسبب مشاكل خطيرة . مقاومة للضوء الطلاء على سطح رقاقة من السهل أن تكون مهب في سرعة الرياح العالية جدا ، مما تسبب في نمط التشويه أو عيب . اضطراب تدفق الهواء يمكن أن تتداخل مع دقة النقل الميكانيكية من رقاقة ، أو حتى يؤدي إلى فشل المعدات لقط ، والتي سوف تؤثر بشكل مباشر على العائد ( قد يؤدي إلى انخفاض العائد أكثر من 10 في المائة ) وعملية الاستقرار .



ولذلك ، دقة ، والتكرار ، في الوقت الحقيقي رصد سرعة الرياح داخل تجويف المعدات أصبحت واحدة من الوسائل الأساسية لضمان اتساق العملية ، والتحقق من ما إذا كان أداء المعدات تصل إلى مستوى ، واستكشاف المخاطر المحتملة .
اختبار تدفق
من أجل التحقق من ما إذا كانت الدولة من تدفق الهواء في رقاقة قناة النقل يتوافق مع المتطلبات التقنية ، عالية الدقة متعددة المعلمة اختبار البيئة 6531 اعتمد على قياس البارامترات الرئيسية التالية بشكل متزامن .
الظروف البيئية
الاختبار يجب أن تتم في درجة حرارة ثابتة ، الضغط المستمر ، isoclass1 بيئة نظيفة ، والتي يمكن تجنب التدخل الخارجي من الجسيمات .



مدى سرعة الرياح :
الغراء / تطوير المعدات ( الغراء آلة ، آلة النامية ، آلة رش الغراء )
هذا النوع من المعدات تحتاج إلى الانتهاء من عملية دقيقة مثل مقاومة للضوء الطلاء ، المطور الرش ، وما إلى ذلك سمك الطلاء مقاومة للضوء عادة ما تقاس على مستوى ميكرون ، وسرعة تدفق الهواء يمكن أن يؤدي إلى سطح الطلاء تموج ، حافة تراكم العيوب ، بطيئة جدا لا يمكن أن تأخذ بعيدا في الوقت المناسب في عملية الطلاء / تطوير المذيبات المتطايرة بخار رقاقة التلوث . ولذلك ، سرعة الرياح يجب أن تسيطر عليها بدقة في 0.3-1.0m / s ، تدفق الهواء يجب أن تكون موزعة بالتساوي في المقطع العرضي من تجويف .
تنظيف المعدات ( إزالة الصمغ آلة ، آلة التنظيف متجانسة )
تنظيف مع الكواشف الكيميائية ( حمض الكبريتيك ، حمض الهيدروفلوريك ، وما إلى ذلك ) أو ارتفاع ضغط رذاذ لإزالة طبقة لاصقة ، والشوائب ، عملية سوف تنتج البخار الكيميائي والجسيمات الحطام . إذا كانت سرعة الرياح ليست كافية ، الملوثات يمكن أن تنضم بسهولة ، مما يؤدي إلى سوء التنظيف دي ؛ إذا كانت سرعة الرياح عالية جدا ، يمكن أن يكون في مهب رذاذ الماء بشكل عشوائي ، أو بقايا الكواشف يمكن أن تتبخر بسرعة لتشكيل الكريستال التلوث . ولذلك ، سرعة الرياح مجموعة 1.0-1.5m / s ، ليس فقط كفاءة إزالة الملوثات ، ولكن أيضا الحفاظ على استقرار تدفق الهواء في تجويف ، لا تتداخل مع عملية التنظيف .
درجة الحرارة والرطوبةس
درجة حرارة عالية جدا يمكن أن تقلل من مقاومة للضوء اللزوجة ، المذيبات المتطايرة بسرعة ، مما يؤثر على مقاومة التوحيد . إذا كانت منخفضة جدا ، فإنه يمكن أن تقلل من نشاط التنظيف كاشف . الرطوبة عالية جدا من السهل أن يسبب تآكل المعادن ، قصيرة الدوائر الكهربائية ، وانخفاض إنتاج الكهرباء الساكنة ، الامتزاز الجسيمات تلوث رقاقة . ولذلك ، فإن درجة الحرارة يجب أن تسيطر عليها في 25 ℃ الرطوبة حوالي 50 ٪ ره .
فرق الضغطس
الضغط الداخلي منخفض جدا ، والغبار التي تحتوي على الهواء الخارجي سوف تتسرب إلى التلوث . عالية جدا يمكن أن يؤدي إلى تشوه تجويف الختم ، تدفق الهواء غير طبيعي ، مما يؤثر على تشغيل المعدات . متطلبات مختلفة من فرق الضغط من المعدات المختلفة هي مختلفة : الغراء آلة ، آلة التنمية ، تحتاج إلى استقرار تدفق الهواء ، فرق الضغط عادة 5-50pa ؛ الغراء آلة ، آلة تنظيف رقاقة واحدة تحتاج إلى تسريع تفريغ الغاز المتقلبة ، فرق الضغط 50-200pa . مجموع فرق الضغط مجموعة 1-200pa ( اعتمادا على نوع المعدات ) .
طريقة الاختبارس
1 - اعتماد طريقة توزيع الشبكة : الرجوع إلى معيار ايزو 14644-3 ، منفذ الهواء من سطح الاتحاد الفرنسي للتنس ينقسم إلى ما لا يقل عن 3 × 3 أو 4 × 4 متساوية المساحة مش . مركز الشبكة هو نقطة أخذ العينات ، وفي الوقت نفسه ، فإنه يحتوي على بعض المناطق الرئيسية مثل الجزء السفلي من منفذ الهواء من فلتر عالية الكفاءة ، تجويف الزاوية ، الجزء العلوي من رقاقة نقل المسار ، الخ . متوسط سرعة الرياح من اختبار القسم مأخوذ لتحديد ما إذا كان أو لم يكن تلبية الاحتياجات .



2 - ضبط 6531 التحقيق في اتجاه الرياح ، المسافة من نقطة قياس 15 ~ 30 سم من الرياح السطحية من الاتحاد الفرنسي للتنس .
3 - ضبط الموقف من 6531 التحقيق في كل مركز الشبكة ، أقترح أن قياس الوقت في كل مرة يجب أن يكون أكثر من 10 ثوان ، وقياس عدة مرات ، مع متوسط سرعة الرياح البيانات المسجلة .
4 - الانتهاء من اختبار وتحليل البيانات التي تم جمعها .
ملاحظة : عند اختبار المعدات ، ينبغي الحفاظ على ختم جيدة ، وتجنب تغيير حجم واتجاه تدفق الهواء الناتج من الاتحاد الفرنسي للتنس بسبب سوء ختم تجويف أثناء الاختبار ، مما يؤثر على موثوقية نتائج الاختبار .



نتائج الاختبار :
النتائج التجريبية تبين أن اختبار البيئة 6531 يمكن التحقق بدقة من استقرار تدفق الهواء في غرفة نظيفة ، وضمان سلامة رقاقة نقل التكنولوجيا العالية عملية نظيفة . وفي الوقت نفسه ، متعدد المعلمة رصد متزامن و تراكم البيانات على المدى الطويل يمكن أن توفر أساسا موثوقا به من أجل التصحيح ، قبول وصيانة المعدات ، ومن الواضح أن تحسين الإنتاجية وكفاءة التشغيل من خط الانتاج .
أداة الأداء والتطبيق
ذكي اختبار البيئة 65ser ، سرعة الرياح ، حجم الهواء ، درجة الحرارة ، الرطوبة ، الضغط في وقت واحد اختبار ، يمكن إدخال شكل وحجم الأنابيب عبر الباب ، وبالتالي حساب حجم الهواء ، بيانات الاختبار الحفاظ على وظيفة ، حساب إحصائي ( متوسط ، الحد الأقصى ، الحد الأدنى ) ، وتخزين البيانات تصل إلى 20 ، 000 ، 8 أنواع من تحقيقات للاختيار من بينها ، تحقيقات متوافقة مع بعضها البعض .



كنوماكس اختبار البيئة 65ser تستخدم على نطاق واسع في اختبار التهوية ، مختبر مراقبة ، غرفة نظيفة اختبار الذكاء التقييم ، والصحة الصناعية ، ومراقبة الجودة ، وما إلى ذلك ، لضمان سلامة العملية وجودة المنتج .