عندما 7nm رقاقة عملية التصنيع أصبح التيار الرئيسي ، aeroengine شفرة سطح منحن التسامح يقترب من 0.001mm ، عالية الدقة آلة قياس تنسيق نانومتر ( ل أ ج ب ) التي وضعتها شنتشن Zhongtu الصك المحدودة ، وقد تم ترقيته من مجرد معدات اختبار الجودة الأساسية لدعم عملية الاستقرار و العائد . باعتبارها واحدة من الشركات المحلية التي تمتلك التكنولوجيا الأساسية من الدقة الهندسية الصك ، مع ما يقرب من 20 عاما من البحث والتطوير ، وبناء القدرة على قياس دقيق من نانومتر إلى 100 متر .

مفهوم النانو

نانومتر عالية الدقة قياس تنسيق آلة ( نانومتر ل أ ج ب ) هو قياس منهاج مايكرو نانو النطاق الصناعي الكشف . فإنه يمكن تحقيق ثلاثي الأبعاد لتحديد المواقع وقياس الأبعاد في   1   نانومتر   المستوى . في صناعة معيار التقييم العام ، نانومتر تنسيق آلة قياس يمكن أن تلبي أساسا اثنين من المؤشرات الأساسية : واحد هو الخطأ في عرض قيمة أقل من أو يساوي 0.5 ميكرون ، والآخر هو تكرار قياس الدقة أقل من أو يساوي 0.3 ميكرون ، وبعض النماذج يمكن تحقيق 0.1nm عمودي القرار .

ثانياً - التكنولوجيات الرئيسية

تحقيق دقة نانومتر هو نظام الهندسة الذي يجمع بين الدقة الميكانيكية والبيئية التعويض ومعالجة البيانات مع عدم الاتصال التحقيق باعتبارها جوهر . من بينها ، عدم الاتصال مجس التكنولوجيا ناضجة ، مباشرة حل ثلاث نقاط الاتصال التقليدية قياس الألم : خدش قطعة العمل الهشة ( مثل مقاومة للضوء رقاقة ) ، وانخفاض كفاءة القياس ( نقطة واحدة قياس الوقت أكثر من 1 ثانية ) ، غير قادر على التكيف مع السطح المنحني معقدة ( مثل aeroengine شفرة ) .

1 . دقة نانومتر منصة الحركة

فائدة نموذج يحل نقطة مؤلمة من الخطأ   ميكرومتر   بسبب الانجراف الحرارية والاهتزاز من الخطية التقليدية دليل السكك الحديدية . السيراميك دليل السكك الحديدية + الهواء واضعة ، مزدوج حلقة مغلقة محرك كهرضغطية تستخدم لضمان موثوقية قياس المجهرية ، تكرار الخطأ أقل من 30   نانومتر   لتحديد المواقع ، وبالتالي خفض معدل إعادة صياغة .

2 . عدم الاتصال دقق التوازن الدقة والكفاءة

فائدة نموذج يحل مشكلة أن المواد الناعمة ، micropore و السطح البصري بسهولة خدش من قبل الاتصال نوع التحقيق لقياس الألم نقطة . فإنه يمكن تحقيق اختبار غير تدميري ، وسرعة جمع سحابة نقطة قياس ، وبالتالي تحسين كفاءة خط الانتاج .

3 . عالية الدقة خوارزمية تعويض الخطأ

حل الأخطاء الميكانيكية ، والتغيرات في درجة الحرارة والرطوبة الناجمة عن قياس الانحراف نقطة الألم . في الوقت الحقيقي رصد البيئة في وقت واحد متعدد نقطة معايرة نموذج يمكن أن تبقي على مستوى النانومتر الموثوقية خارج درجة حرارة ثابتة والرطوبة ثابتة مختبر .

ثالثاً - الحالات التطبيقية

1 - مراقبة الجودة من المكونات البصرية : في خط إنتاج العدسات البصرية ، وعدم الاتصال الشخصي المسح الضوئي باستخدام نانو تنسيق قياس الخطأ في   0.2   ميكروغرام م   تحقيق   <   5   في المائة   الكشف عن تقصير الوقت .

ممس و ممس : من خلال 5   محور متزامن المسح الضوئي ، نسبة العمق إلى العرض   12   1   هيكل مايكرو معدات كاملة الحجم ثلاثي الأبعاد التقييم .

3 . قياس معقدة مجانا سطح النصل ، شفرة القرص مجموعة كثيفة في الفضاء : ل أ ج ب ، عالية الدقة مسح الرأس و الدوار ذكي الحركة التعاونية ، جنبا إلى جنب مع برامج التحليل الخاص powerblade تقييم شامل المعلمات .

4 - معايرة سريعة : في قياس الأبعاد الرئيسية وشكل الكلمات والتسامح من السيارات أداة قياس ، قياس البعد العالمي باستخدام marsclassic 8156 ل أ ج ب مع تمديد قضيب واستبدال بالإضافة إلى قياس ، قياس الفترة من   30   دقيقة إلى   8   دقيقة ، معايرة أداة قياس الخطأ أقل من أو يساوي 10   ميكرومتر   .

صناعة البصيرة والتوقعات

تطوير تكنولوجيا النانو تنسيق قياس التحول من الدقة في حل المشهد . في المستقبل ، مع ظهور نوع جديد من الدقة تصنيع السيناريوهات ، مثل أشباه الموصلات عملية تصنيع أقل من 3 نانومتر ، خلية وقود الهيدروجين لوحة ، تكنولوجيا القياس سوف تتطور نحو دينامية قياس الانصهار . من خلال دقة المؤشرات الفنية ، ونماذج المنتجات ، فضلا عن الهبوط في حالة الصناعة ، يمكن للشركات تحسين موثوقية المنتج ، في حين أن تحسين كفاءة الإنتاج .