في مجال أشباه الموصلات رقاقة التغليف ، 3C الالكترونية الزجاج الشاشة ، تصنيع المكونات البصرية ، أقصى ارتفاع الشخصي RZ هو مفتاح المعلمة لقياس سطح المجهرية تموج .

عندما يكون هناك أكثر من 0.5 ميكرون RZ في رقاقة يؤدي الترابط ، الترابط الفشل قد يكون سببها .

عندما يكون الهاتف المحمول شاشة زجاجية RZ أقل من 0.02

أولا ، غير مرئية خشونة ، أصبح الأداء والإنتاجية القاتل الخفي

الاتصال التقليدية طريقة القياس من السهل خدش سطح الدقة ، نقطة واحدة قياس لا يمكن أن تعكس تماما الحالة الحقيقية المعقدة سطح منحن ، ولكن بعدين خشونة المعلمة ( مثل را ) لا يمكن أن تمثل منطقة الاتصال الفعلي و الخصائص الفنية على الرغم من شعبية . هذه النقاط المؤلمة تسمح للشركات للسيطرة على دقة RZ قبل الطلب مرارا وتكرارا ضرب الجدار .

على سبيل المثال ، في صناعة المحامل ، فقط السيطرة على متوسط را قد يؤدي إلى عدم الكشف عن ذروة المحلية الصغيرة ( peaks ) ، مما يجعل من السابق لأوانه ارتداء محامل عالية السرعة في العملية . قبل طلاء العدسات البصرية ، إذا لم يتم تقييم فعالية فاليس عمق الركيزة المادية ، وسوف يؤدي مباشرة إلى عدم التصاق الطلاء . عند هذه النقطة ، RZ ( متوسط ارتفاع الذروة فالي ) هو مؤشر التقييم الأساسية 3D سطح كفاف .

ثانيا ، كيفية استخدام البصرية ثلاثية الأبعاد profilometer للسيطرة على دقة RZ ، حل مشكلة دقة تصنيع نوعية السطح ؟

إن superview W1 سلسلة البصرية 3D سطح profilometer يأخذ الضوء الأبيض تدخل التكنولوجيا باعتبارها جوهر ، ويوفر حل متكامل " RZ دقة القياس + المشهد كله صالح " . تقييم المعلمة الأساسية RZ ( المقابلة المعلمة في ايزو 25178 سهير ) بأنها متوسط المسافة العمودية بين أعلى خمس قمم وخمسة منخفض في منطقة التقييم . على عكس را الذي يعكس فقط المتوسط الحسابي الانحراف ، RZ يمكن التقاط تقلبات الذروة فالي بدقة أكثر ، والتي يمكن أن تؤثر بشكل مباشر على أداء الختم ، مثل مخاطر التسرب ، طلاء التوحيد ، التصاق بعد الرش .

على عكس وظيفة واحدة الحد من المعدات التقليدية ، هذه المعدات قد كسر من خلال التناقض بين " الدقة والكفاءة " و " الحماية والتفتيش " من حيث المبدأ :

1 ، من خلال عدم الاتصال تدخل الضوء الأبيض المسح الضوئي ، لا تحتاج إلى الاتصال سطح العينة يمكن التقاط صورة مجهرية نانومتر ، وتجنب الاتصال قياس رقاقة أشباه الموصلات ، والعدسات البصرية وغيرها من القطع الضعيفة من الضرر .

2 ، وفي الوقت نفسه ، معدات محمولة على دقة وحدة المسح الضوئي 3D النمذجة الخوارزمية ، مسح البيانات يمكن تحويلها إلى صورة ثلاثية الأبعاد البصرية ، ثم من خلال نظام البرمجيات تلقائيا حساب قيمة RZ - خشونة رمس التكرار يمكن أن تصل إلى 0.005nm ، خطوة دقة القياس فقط 0.3 في المائة ، حتى على نحو سلس جدا سطح رقاقة السيليكون 0.2nm ، 10 مرات متتالية من قياس الانحراف RZ البيانات يمكن أن تكون مستقرة في السيطرة على مجموعة صغيرة ، من أجل حل المعدات التقليدية من عدم اليقين ، من السهل أن تتلف جوهر الألم .

التركيز على المزايا التقنية :

1 ، كامل مجال القياس ، أي بيانات مفقودة : مسح يمكن الحصول على الملايين من نقاط البيانات ، تقييم شامل في المنطقة بأكملها ، لتجنب نقطة واحدة خطأ عرضي العينات ؛

2 - استعادة صورة ثلاثية الأبعاد الحقيقية : سطح الملمس ، عيب التوزيع والوظيفة ميزة يمكن عرضها مباشرة من خلال خريطة ثلاثية الأبعاد متساوية الارتفاع و pseudocolor الخريطة .

المشهد التحقق

1 ، في التطبيق العملي ، 3D البصرية سطح profilometer " القدرة على التكيف مع المشهد " يزيد من قيمة RZ القياس .

( 1 ) من أجل حل مشكلة " انخفاض كفاءة الكشف عن رقاقة RZ دفعة " في تصنيع أشباه الموصلات ، supervieww المعدات يدعم وظيفة متعددة منطقة القياس التلقائي ، والتي يمكن الانتهاء من المسح التلقائي RZ وتسجيل البيانات من عشرات من رقائق مع مفتاح واحد فقط من خلال تحديد نقطة قياس موقف مربع أو دائري واسعة .

( 2 ) في RZ الكشف عن 3C الالكترونية الزجاج الشاشة ، لأن سطح الزجاج شفافة وسهلة تتأثر الاهتزازات البيئية ، الهواء العائمة العزلة الاهتزاز قاعدة مجهزة المعدات يمكن أن تكون فعالة في عزل الاهتزازات والضوضاء التي تجري على أرض الواقع .

( 3 ) بالنسبة للجزء الذي يحتاج إلى تحليل عالية الدقة RZ ، مثل العدسات البصرية ، خشونة وحدة التحليل التي تقدمها المعدات يمكن أن تكون جنبا إلى جنب مع ايزو / ASME / EUR / GBT المعايير الأربعة ، بما في ذلك أكثر من 300 أنواع من المعلمات RZ ، را ، RQ ، وما إلى ذلك ، يمكن أن تساعد المهندسين على القاضي بدقة ما إذا كانت جودة سطح العدسة يلبي متطلبات التصميم .

2 ، من أجل التحقق من موثوقية قياس RZ ، superview W1 سلسلة مرت صارمة مختبر المعايرة والصناعة تطبيق الاختبار . ( 1 ) في رقاقة السيليكون القياسات وفقا للمعايير الدولية ايزو 25178 ، RZ التكرار stddev 10 قياسات متتالية من المعدات التي تسيطر عليها في 0.005nm ;

( 2 ) عند قياس 5 μ م خطوة ارتفاع كتلة القياسية ( وفقا لمعيار ISO 10610-1 : 2009 ) ، دقة RZ ذات الخطوة الارتفاع هو 0.3 في المائة ، والتكرار هو فقط 0.08 في المائة ( 1 σ ) . هذه البيانات ليست فقط أعلى بكثير من متوسط الصناعة ، ولكن أيضا يمكن أن توفر الأساس الكمي التتبع مباشرة لمراقبة الجودة في المؤسسة .

( 3 ) تصميم مزدوج عدسة المضادة للتصادم حماية المعدات -- البرمجيات zstop الحد الأدنى من الحماية و مرونة التراجع عن هيكل عدسة الربيع -- كما يوفر ضمانة لسلامة RZ القياس ، حتى لو كان خطأ في التشغيل اليدوي يؤدي إلى عدسة قريبة من الشغل ، المعدات يمكن أن تدخل في حالة الطوارئ على الفور ، وتجنب الضرر من العدسة و الشغل ، والحد من تكاليف صيانة المعدات و خسائر الإنتاج .

خاتمة : فتح الخاص بك نوعية السطح عمق التشخيص

جنبا إلى جنب مع تطوير الصناعة 4.0 ، سطح تقييم الجودة تشهد ثلاثة تغييرات : المعلمة functionalization البيانات intelligentization ، كامل عملية مراقبة الجودة . البصرية ثلاثية الأبعاد سطح profilometer ليس فقط حل مشكلة الدقة والكفاءة والسلامة في قياس RZ ، ولكن أيضا تحقيق الربط السلس بين بيانات القياس RZ وتصنيع مس من خلال برمجة قياس دفعة تحليل البيانات ، متعدد شكل تقرير التصدير . هذا النوع من القيمة التي تمتد من نقطة واحدة للكشف عن كامل عملية إدارة ومراقبة ، هو على وجه التحديد ميزة أساسية من المعدات التي تختلف عن التقليدية أداة قياس .

إذا كان الخاص بك دقة الشغل RZ قياس كفاءة منخفضة ، بيانات غير مستقرة ، من السهل أن تلف الشغل ، وهلم جرا ، قد يكون السبب في عدم فهم كامل سطح المجهرية .