كري هول أيون المصدر Gridless ه سلسلة

كري قاعة ايون المصدر ح سلسلة ، التي أنشئت من قبل الدكتور كوفمان ، هو نوع من شعاع ايون واسعة المصدر مع زاوية 45 - قاعة ايون مصدر تدفق الغاز يمكن أن يكون 2-25sccm / 2-50sccm / 2-75sccm / 5-100sccm ، الخ . قاعة أيون المصدر الحالي هو اختياري 5A / 10A / 12A / 15A / 20A ، الخ . ارتفاع تركيز أيون القاعة المصدر يزيد من معدل الترسيب ، وانخفاض الطاقة الحركية يقلل من الأضرار الناجمة عن القصف الأيوني على السطح ، شعاع واسعة التصميم يمكن أن تحسن بشكل فعال في الإنتاجية وتغطية منطقة الترسيب . عموما من السهل أن تعمل ، وسهلة للحفاظ على . قاعة أيون المصدر ه يوفر مجموعة كاملة من الحلول بما في ذلك أيون المصدر ، الالكترونية التعادل ، وإمدادات الطاقة ، وحدة تحكم تدفق MFC ، وهلم جرا .