البلازما مطياف الانبعاث

إن lx-3200ped البلازما مطياف الانبعاث مجهزة حساسية عالية جدا للكشف عن انبعاث البلازما ، عندما عينة الغاز يمر من خلال أنبوب الكوارتز ، المتأينة من قبل مولد الجهد العالي ، وتوليد الإشارات الضوئية ، فلتر الضوء بشكل انتقائي تصفية الإشارات الضوئية حسب الطول الموجي ، من خلال الصمام الثنائي الضوئي إلى إشارات كهربائية ، من خلال إشارة الجهد المولد لتضخيم إشارة إلى درجة التحليل المطلوب لتلبية الكشف عن نسبة جزء لكل تريليون في الكشف عن مجموعة .

• تحليل نموذجي

صناعة فصل الهواء

• تحليل الشوائب ( H2 / O2 / N2 / AR / CH4 / CO / CO2 ) عالية النقاء O2 ، N2 ، ع ؛
• تحليل المواد الخطرة ( C2H2 ، وأكسيد النيتروز ، التتراهيدروكانابينول ، c1-c4 ) في السائل O2 ، الهواء السائل و مدخل الهواء .
• تحليل الشوائب في انه ، ني ، الخمير الحمر ، اكس ( N2 / O2 + ع / H2 / CO / CO2 / CH4 / KR / XE / N2O / c2f6 / CF4 / SF6 ) .

الغاز الخاص ، وصناعة الغاز الإلكترونية

• تحليل الشوائب ( H2 / N2 / O2 + ع / CO / CO2 / CH4 ) ؛
• الغازات المسببة للتآكل Cl2、HCl、HBr、NH3、SiH4 、SiHCl3、SiH2Cl2、AsH3、PH3、GeH4、BF3、BCl3、NF3、WF6、HF、F2 تحليل الشوائب .
• تحليل الشوائب : c3f8 c4f8 , SF6 , cf4 , c2f6 , chi2ci3 , ch2hcl , sicl4 , الخ .
• تحليل الشوائب مثل ثاني أكسيد الكربون ، NH3 ، H2 .

• مبدأ عمل البلازما للكشف عن الانبعاثات
• انبعاث البلازما الكاشف ( PED ) هي حساسة للغاية للكشف عن الغرض العام ، مع تصميم فريد من نوعه داخل تجويف الكوارتز عالية التردد عالية الجهد تحميل الحقل الكهربائي . عندما عينة الغاز يمر من خلال تجويف الكوارتز ، المتأينة من قبل مولد الجهد العالي ، مما أدى إلى ظاهرة تسمى مضان electroluminescence تنبعث منها خاصية الخط الطيفي ، خط الانبعاثات يختلف مع المواد المختلفة في الغاز الناقل .
• الإشارات الضوئية التي تولدها الكاشف يتم الكشف عنها من قبل النظام البصري ، الذي يتألف من مرشح بصري و الثنائي الضوئي ، مرشح بصري انتقائي يصفى الإشارات الضوئية حسب الطول الموجي ، ويتم تحويلها إلى إشارات كهربائية من الثنائي الضوئي و تضخيم الإشارات إلى المستوى المطلوب من خلال تحليل إشارة الجهد المولد .
• الحد الأقصى للكشف عن انبعاث البلازما ( PED ) :