في عملية تصنيع رقاقة أشباه الموصلات ، المسبار يمكن اختبار أداء رقاقة . في مختبر المواد الجديدة ، التحقيق في الاتصال مع سطح العينة على مستوى النانومتر ، وفتح الخصائص الكهربائية والبصرية من المواد . في مختبرات البحوث البيولوجية ، تحقيقات اختراق الخلايا بسرعة وبدقة . وراء هذه العمليات الدقيقة ، لا يمكن فصلها عن المعدات الأساسية- مكتب التحقيق .

واحد、يدقق في الجدول

محطة اختبار العالم الصغير

باعتبارها واحدة من المعدات الرئيسية الحديثة نانو اختبار والتلاعب ، يدقق في منصة تستخدم على نطاق واسع في مجال أشباه الموصلات اختبار المواد والبحوث الطبية الحيوية . مثل طاولة العمليات في العالم المجهري ، تمكن الباحثون من التلاعب والقياس الدقيق للمواد النانوية والخلايا وحتى الجزيئات الفردية .

في كلمة واحدة ، فإن المهمة الرئيسية من التحقيق هو تحقيق دقة المحاذاة ، الاتصال مستقرة بين التحقيق و عينة في نانومتر ميكرون الحجم ، والتعاون مع أدوات الاختبار لإكمال اختبار القوة ، والكهرباء ، والضوء وغيرها من الخصائص . بغض النظر عن العائد اختبار رقاقة في صناعة أشباه الموصلات ، وتحليل خصائص المواد الجديدة ، أو المعلمة معايرة الأجهزة البصرية والكهربائية ، يدقق في الجدول هو جسر هام ، فإنه يبني قناة بين الكلية والجزئية معدات الاختبار ، اختبار دقة البيانات مباشرة يحدد موثوقية .

المبدأ الأساسي من يدقق في الجدول هو أن من خلال هيكل الميكانيكية الدقيقة وتكنولوجيا التحكم ، التحقيق أو عينة مدفوعة للتحرك بحرية متعددة الأبعاد و ضبط زاوية لضمان دقة التحقيق يمكن أن تقع على نقطة اختبار العينة ، وفي الوقت نفسه الحفاظ على قوة الاتصال مستقرة ، وتجنب سحق عينة أو سوء الاتصال .

نانو يدقق

تطبيقات رئيسية من يدقق في مكتب الصناعات والسيناريوهات :

1 . صناعة أشباه الموصلات :الدوائر المتكاملة الكهربائية اختبار الأداء ، رقاقة اختبار ، اختبار التعبئة والتغليف .

2 . صناعة الإلكترونيات الضوئية :اختبار المكونات الكهروضوئية ، مثلLED、 photodetector الليزر .

3 - علم المواد :وصف المجهرية من سطح المواد ، مثل العيوب السطحية ، وحجم الحبوب ، الخ . الكهربائية والمغناطيسية والبصرية خصائص المواد في درجات حرارة مختلفة ، فضلا عن الاستقرار والموثوقية من المواد التي تم اختبارها .

4 - الطب الحيوي :دراسة توافق مع الحياة من المواد الحيوية . عالية الدقة التصوير الجزيئي ، وتحليل الخلايا والأنسجة ، وتطوير أجهزة الاستشعار ، الخ .

اثنان、لماذا كهرضغطية تكنولوجيا النانو

أصبحت تدريجيا متطلبات أساسية من التحقيق ؟

على أساس تطبيق منصة التحقيق ، سواء في صناعة أشباه الموصلات رقاقة اختبار أو اختبار الخلايا في مجال البحوث البيولوجية ، هذه المجالات عالية الدقة تعتمد أساسا على دقة تحديد المواقع والتحكم في التكنولوجيا . عندما دقة التشغيل المطلوبة للوصول إلى مستوى النانومتر ، أو حتى subnanometer ، محرك الأقراص الميكانيكية التقليدية لا يمكن تلبية الطلب ، قد يكون هناك فجوة ميكانيكية يمكن أن يؤدي إلى خطأ ، سرعة استجابة بطيئة جدا ، لا يمكن أن تكون مناسبة عالية التردد اختبار ، وعدم الاستقرار سوف تؤثر على تكرار البيانات .

في هذه الحالة ، وتحديد المواقع والتحكم في تكنولوجيا النانو كهرضغطية يصبح مفتاح كسر المحلية : على أساس تأثير كهرضغطية ، من خلال عكس تأثير كهرضغطية من المواد كهرضغطية ، التشرد السيطرة ، زاوية التكيف والاستجابة الديناميكية من النانو أو حتى subnanometer يمكن أن تتحقق ." عالية الدقة ، والاستقرار عالية ، والاستجابة السريعة " المتطلبات الأساسية .

المزايا الأساسية لتكنولوجيا النانو كهرضغطية :

· نانومتر القرار :دقة الحركة المطلوبة لتحقيق نانومتر أو أقل

· الاستقرار عالية جدا :تجنب تأثير الاهتزاز على دقة العملية

· استجابة سريعة :ميلي ثانية واحدة سرعة استجابة ديناميكية التكيف اختبار

فراغ متوافق :تكيففراغ عالية البيئة من الأجهزة المجهرية مثل SEM

· تنسيق متعدد المحاور :متعددة الأبعاد ومعقدة زاوية التحكم

كهرضغطية نانو يدقق في الجدول

وخمسة عشر الأبعاد كهرضغطية nanoprobe الجدول : عملية تعاونية عالية الدقة تكنولوجيا كهرضغطية

فائدة نموذج يتعلق كهرضغطية نانو الأساسية مسبار الجدول ، الذي يتألف من المواقع كهرضغطية نانو الجدول ، الجدول التشرد المحرك كهرضغطية ، كهرضغطية عدسة الهدف محدد و العنصر الهيكلي . كهرضغطية نانو لتحديد المواقع منصة تستخدم عينة تحمل منصة ، والتي يمكن تحقيق ثنائية الأبعاد عالية الدقة انحراف التكيف . منأربع مجموعات من المجسات التي تسيطر عليها بشكل منفصل من التشرد المحرك كهرضغطية يمكن تحقيق دقة الحركة في XYZ نانومتر الفضاء ثلاثي الأبعاد . كهرضغطية عدسة الهدف ميضعة يمكن التحكم بدقة عدسة الهدف في z-axis الاتجاه إلى التركيز على مستوى النانومتر ، وبالتالي تحقيق عالية الدقة المجهر المراقبة .

1 ) عينة طاولة

كهرضغطية نانو لتحديد المواقع منصة يمكن تحقيق دقة الحركة من محور واحد أو حتى متعددة محور الحركة مجموعة يمكن أن تصل إلى ملليمتر . صلابة عالية ، صفر الفجوة يضمن الاستقرار والتكرار في تشغيل النظام ، هو منصة موثوق بها لتحميل العينات .

2 ) يدقق في الجدول

المحرك كهرضغطية التشرد الجدول هو المحرك الذي يستخدم محرك كهرضغطية السيراميك ، ويستخدم تصميم هيكل الميكانيكية الخاصة لتحويل خطي التشرد الصغيرة التي تنتجها كهرضغطية السيراميك في الماكرو خط مستقيم ( أو زاوية ) حركة الطائرة الميكانيكية ، السكتة الدماغية يمكن أن تصل إلى عدة عشرات من ملليمتر ( أو زاوية ) .360 ° ) . نانو النطاق تكرار التعريب مميزة ، مما يجعل من الممكن تحقيق عالية الدقة لتحديد المواقع التحقيق . من أجل تلبية متطلبات القوة المؤثرة على عينة من التحقيق ، كهرضغطية موتور التشرد الجدول الأساسية يوفر مستوى النانومتر التحكم في الحركة ودقة قوة الإخراج ، ويوفر دقة تحديد المواقع والملاحة من أجل التحقيق في الحركة .

3 ) التركيز المجهري

عندما تعمل على عينة مجهرية مثل الخلايا البيولوجية ، من الضروري الحفاظ على دقة الملاحظة و دقق في نفس الوقت ، كهرضغطية عدسة الهدف ميضعة الأساسية هي مصممة خصيصا من أجل التركيز على المجهر من العدسة الشيئية .جهاز قياس أو مراقبة يمكن أن تركز مع الحيوان مرآة لتحسين الدقة ، ويمكن استخدامها مع مجموعة متنوعة من المجهر عالية الدقة ، ويمكن تحقيق التنسيق بين العينة و النظام البصري نانو النطاق لتحديد المواقع .

كما هو مبين في الشكل ، يدقق في منصة متكاملة مع مجموعة متنوعة من المنتجات كهرضغطية الأساسية ، بما في ذلك التكوين الأساسية :s54 2D البندول منصة ، والتي يمكن تخصيص المعلمات بمرونة وفقا للاحتياجات الفعلية . N56 سلسلة المحرك الخطي التشرد الجدول ، مع مجموعة غنية من الخيارات ، أقصى قدر من السفر يمكن أن تصل إلى أكثر من 50 ملم . كهرضغطية عدسة الهدف محدد ، متعدد السكتة الدماغية اختياري ، أقصى قدر من القرار يمكن أن تصل إلى 2.5nm . . . . . . .

2 , 19-dimensional كهرضغطية nanoprobes : دمج عمليات النانو الصغيرة

كهرضغطية نانو يدقق في الجدول هو نانو يدقق في الجدول الذي يجمع بين المواقع كهرضغطية نانو وحدة التحقيق على أساس التشرد الجدول المحرك كهرضغطية .SEM）、 المجهر الإلكتروني النافذ ( تيم ) جنبا إلى جنب مع غيرها من المجهر الإلكتروني ( تيم ) . أربع مجموعات من nanoprobe وحدات يمكن أن تؤدي الحركة الخطية ثلاثية الأبعاد XYZ و ص محور الحركة الدورانية . البعد الخارجي ، محور الحركة ، السكتة الدماغية والسرعة من nanoprobe الجدول يمكن تخصيصها .