- البريد الإلكتروني
- الهاتف
-
العنوان
غرفة 616 ، الطابق 6 ، zhaowei بناء ، رقم 14 jiuxianqiao الطريق ، حي تشاويانغ ، بكين
فئات المنتج
yakechenxu بكين التكنولوجيا المحدودة
نظرة عامة
أفقي نظام رد فعل الحراري
تفاصيل المنتج
[ منتوج موجز ]
centrotherm c.horicoo 300 أفقي نظام دفعة هي الأولى في العالم المتقدمة عالية الإنتاجية 300 ملم رقاقة تجهيز منصة . المعدات منصة تتألف من اثنين من النظم التي تحتوي على كل أربعة طبقة فرن الأنابيب ، ونظام التحميل التلقائي الجهاز .نظام التدفئة يتكون من 5 وحدات التدفئة في المنطقة المزدوجة التي توفر درجة حرارة عالية التوحيد centrotherm ومثالية عملية مستقرة . centrotherm هيدروكس يدعم كل من الأكسجين الجاف والرطب العمليات .ارتفاع في درجة الحرارة تصل إلى 1200 درجة مئوية ، والأكسدة ، محرك الأقراص في عملية يمكن أن تعزز تطوير طبقة أكسيد مع انخفاض كثافة واجهة فخ ( ديت ) وارتفاع قناة التنقل .
[ عملية مناسبة ]
الصلب
• الانتشار
الأكسدة
· LPCVD
· PECVD
