بالموجات فوق الصوتية المسح المجهري
[ منتوج موجز ]
AWTMسلسلة من المنتجات المصممة خصيصا لاختبار رقاقة نظام أوتوماتيكي بالكامل . هو مناسبة لأنّ كشف وتحليل مختلف المستعبدين رقائق ( سوي ، ممس ، الصمام ، 2.5D و 3D ) ، مع حساسية عالية والقدرة على الإنتاج . او سلسلة يمكن الكشف عن الثقوب التي هي أقل من 5 ميكرون في القطر بين اثنين من رقائق و التبطين التي هي رقيقة مثل 200 أنغستروم بين رقائق . او اثنين أو أكثر من رؤساء المسح الضوئي ، العازلة طاولة العمل ، غرفة التجفيف . فائدة نموذج يمكن مسح اثنين من رقائق في وقت واحد ، وتجفيف رقائق الانتهاء من المسح الضوئي في وقت واحد ، وبالتالي تحسين الإنتاجية .
[ السمات الرئيسيةو
م .Quantitative Dynamic ZTMتكميم دينامية z-function -- الحفاظ على التركيز على تفاوت رقاقة
· مع SECS-II / GEM / SEMI300 مم القياسيةمتوافق
· الكشف التلقائي الكامل عن رقائق 100mm إلى 300mm
· التحقيق الشلال يوفر المسح غير الغمر
· وظائف تحليل الصور الرائدة في الصناعة
· بولتس واجهة قياسية تنطبق على foups ، smif جراب ، fosb وفتح رقاقة مربع
· إمدادات المياه الذاتي ومكونات فراغ ضخ ( خيارات )