سبعة نجوم Huachuang الشامل تحكم تدفق متر

سبعة نجوم Huachuang الشامل تحكم تدفق متر

تدفق الشامل تحكم تدفق الشامل دليل 1 . تعليمات الاستخدام للمستخدمين الكرام ، شكرا لك على شراء الشركة المصنعة d07 سلسلة تدفق الشامل تحكم / مقياس الجريان الشامل المنتجات . هذا الدليل يصف بالتفصيل المسائل اللازمة لاستخدام هذه السلسلة من المنتجات بشكل صحيح وأمان . يجب على المستخدمين الرجوع إلى هذا الدليل بعناية واستخدامها بعد الفهم ، أثناء استخدام ، يرجى الانتباه إلى النص مع علامات التحذير من جميع المحتويات الواردة . الشركة لديها الحق في عدم تحمل المسؤولية عن أي خسارة في الممتلكات أو الإصابة الشخصية الناجمة عن عدم استخدام الدليل . يرجى الحفاظ على هذا الدليل بشكل صحيح عند تركيب وصيانة وإصلاح الفشل . 2 . استخدام مقياس الجريان الشامل ( MFM ) لقياس تدفق الغاز بدقة . كتلة تحكم تدفق ( MFC ) يستخدم لقياس ومراقبة تدفق الغاز . وهي تستخدم على نطاق واسع في العديد من المجالات مثل أشباه الموصلات والالكترونيات الدقيقة ، وتطوير المواد الخاصة ، والصناعة الكيميائية ، وصناعة النفط ، والطب ، وحماية البيئة ، فراغ ، وهلم جرا . تطبيقات نموذجية تشمل المعدات الالكترونية مثل نشر ، والأكسدة ، الفوقي CVD、 النقش البلازما ، الاخرق ، زرع الأيونات . فراغ طلاء المعدات ، الألياف البصرية ، والصهر ، مايكرو رد فعل الجهاز ، نظام توزيع الغاز مختلطة ، الشعرية قياس ، كروماتوجرافيا الغاز وغيرها من أدوات التحليل . d07 سلسلة كتلة تدفق تحكم تدفق الشامل لديها مزايا عالية الدقة ، التكرار جيدة ، والاستجابة السريعة ، لينة بدء التشغيل ، والاستقرار ، والموثوقية ، مجموعة واسعة من ضغط العمل ، وما إلى ذلك ( يمكن أن تعمل تحت ضغط عال أو فراغ ) ، عملية مريحة ، ويمكن تركيبها في أي موقف ، ومريحة للاتصال مع الكمبيوتر لتحقيق التحكم الآلي . إن d07 سلسلة كتلة تدفق تحكم تدفق متر كتلة تستخدم عادة مع d08 سلسلة تدفق متر العرض وغيرها من المنتجات .

سبعة نجوم Huachuang الشامل تحكم تدفق متر

المؤشرات الفنية الرئيسية الجدول 1 . d07-19b MFC مؤشر أداء البند رقم d07-19b1 مواصفات تدفق ( 0 ~ 5 , 10 , 20 , 30 , 50 , 100 , 200 , 300 , 500 ) sccm ( 0 ~ 1 , 2 , 3 , 5 , 10 , 20 , 30 ) slm2 دقة ± 1 ٪ و ( 20 , 30 : 2 ٪ ± و ( س ) 3 ± 0.5 في المائة و ( 20 , 30 : 2 ٪ ± و ( س ) ± 2.0.5 في المائة و ( س ) ± 2.0.5 في المائة و ( س ) ≤ 2.5 في المائة ) . SLM： 0.1 ~ 0.5 MPa (14.5~72.5 psid)＞10SLM： 0.1~ 0.3 MPa (14.5~43.5 psid)7 أقصى ضغط العمل 1 mpa8 تحمل الجهد 3 ميغاباسكال ( 435.1 بسيج ) 9 درجة حرارة بيئة العمل 5 ℃ ~ 45 ℃ 10 المدخلات والمخرجات إشارة 0 الخامس ~ + 5.00 الخامس ( مدخلات المعاوقة أكثر من 100 ك ، الانتاج الحالي لا أكثر من 3 ما ) 11 + 15 الخامس 50 ما . الشكل 413 الوزن 0.95 كجم ملاحظة : مقياس الجريان الشامل و الشامل تدفق تحكم عادة معايرة مع النيتروجين ( N2 ) عند مغادرة المصنع . وحدة تدفق الشامل هو : SCCM ( معيار مل / دقيقة ) ؛ حركة تحرير السودان ( معيار لتر / دقيقة ) مستوى الدولة على النحو التالي : درجة الحرارة - 273.15k ( 0 ℃ ) ؛ الضغط الجوي - 101325 باسكال ( 760 مم زئبق ) في مركز MFC / MFM ، وحدة SCCM يساوي " مل / دقيقة ، 0 ℃ ، 1 أجهزة الصراف الآلي " ، وحدة حركة تحرير السودان يساوي " ل / دقيقة ، 0 ℃ ، 1 أجهزة الصراف الآلي " . ( كامل النطاق : كامل نطاق الجدول 2 . مؤشر أداء المشروع d07-19bm mfm نوع d07-19bm mfm نوع d07-19bmmmmmmmmmmmm1 ( 0 ～ 5 ، 10 ، 10 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 30 ، 30 ، 50 ، 100 ، 100 ، 100 ، 200 ، 200 ، 300 ، 500 ، 500 ) sccm ( 0 ～ 1 ، 1 ، 2 ، 2 ، 2 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 20 ، 1 / 1 7 ماكس ضغط العمل 1 mpa8 تحمل الجهد 10 ميغاباسكال ( 1450.4 بسيج ) 9 درجة حرارة بيئة العمل 5 ℃ ~ 45 ℃ 10 الناتج إشارة 0 الخامس ~ + 5.00 الخامس ( مدخلات المعاوقة أكبر من 100 كيلو و الانتاج الحالي لا أكثر من 3mA ) 11 إمدادات الطاقة + 15 الخامس 50 ما - 15 الخامس 50 ما 12 الأبعاد الخارجية انظر الشكل 413 الوزن 0.7 كجم من أنواع مختلفة من المنتجات من المؤشرات الفنية الرئيسية في الجدول 1 والجدول 2 . نوع d07-19bm هو قياس تدفق جزء من نوع d07-19b ، نفس النوع من MFM MFC في قياس تدفق جزء من نفس المؤشرات الفنية . 4 - هيكل ومبدأ العمل 4-1 هيكل كتلة تدفق متر يتكون من أجهزة الاستشعار تدفق ، تدفق المفرق قناة تضخيم دارة . على أساس كتلة تدفق متر ، بالإضافة إلى تنظيم صمام ، PID التحكم في الدائرة تشكل كتلة تدفق تحكم . نموذج d07-19b كتلة تحكم تدفق ، بعد فتح الغطاء الخارجي هو مبين في الشكل 2 .