تحكم تدفق الشامل

صمام نوع

مغلق عادة أو مفتوح عادة

لا صمام

مغلق عادة أو مفتوح عادة

لا صمام

مواصفات التدفق(ن)₂و

(0و1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM

(0و1،2،3،5،10،20،30) SLM

دقة

س٪ S.P. (أكثر35٪ FS)

س0.35٪ FS (ص35٪ FS)

س0.80٪ S.P. (أكثر30٪ FS)

س0.24٪ FS (ص30٪ FS)

خطي

س0.5٪ FS

تكرار الدقة

س0.2٪ FS

زمن الاستجابة

ص0.8ثانية（ص0.5sec اختياريو

مجموعة ضغط العمل

(0.05و0.35) ميجا باس (ص10SLM)

(0.1و0.35) ميجا باس (س10SLM)

ص0.02 ميجا باس

(0.05و0.35) ميجا باس (ص10SLM)

(0.1و0.35) ميجا باس (س10SLM)

ص0.02 ميجا باس

معامل درجة الحرارة

صفر: ≤ ± 0.02٪ FS / ℃نSpan: ≤ ± 0.05٪ FS / ℃

تحمل الجهد

3.5MPa

معدل التسرب

1س10^-11Pa · م³/ ثانية

ختم المواد

المعدن

درجة حرارة بيئة العمل

（0و50و℃

إشارة الإدخال

الرقمي: RS485 أو DeviceNet

التناظرية: (0)و5) VDC

لا

الرقمي: RS485 أو DeviceNet

التناظرية: (0)و5) VDC

لا

إشارة الخرج

الرقمي: RS485 أو DeviceNet

التناظرية: (0)و5) VDC

صفر الانجراف

ص0.6٪ FS سنويا بدون الصفر الآلي

قوة إمداد تموين

زائدو± 16 VDC (ثنائي القطبوأو . +11و+ 28 فولت (أحادي القطبو

سطح التركيب الكيميائي

نسبة Cr / Fe > 2.0 ؛ سمك كرو > 20 Angstroms

خشونة السطح

را5مبوصة

معيار شكل مشترك

VCR1 / 4يانغ موصل ;

1.125سجيمنوع الختم المشترك

1.125سدبليونوع الختم المشترك

1.5سباءنوع الختم المشترك

1.5سجيمنوع الختم المشترك

1.5سدبليونوع الختم المشترك

السلطة موصل نوع

د تحت 9 دبابيس ذكرود تحت 15 دبابيس ذكروDeviceNet ذكر

وزن .

1 كيلوغرام

0.8 كيلوغرام

1.2 كيلوغرام

1 كيلوغرام