mfc t-series MFC تحكم تدفق الكتلة تعتمد على استشعار الحرارة ، وانخفاض درجة الحرارة صمام الملف اللولبي ، استشعار الضغط التكنولوجيا . 1.0 في المائة s.p . ( 25 ٪ - 100 ٪ f.s . ) $ r.n . تكرار معيار الصناعة المنتجات ( ≤ و 襩 ؛ 0.2 في المائة f.s . ) .
كتلة تحكم تدفق MFCتي سلسلة MFC
استخدام أجهزة الاستشعار الحرارية ، وانخفاض الحرارة صمام الملف اللولبي + الضغط تكنولوجيا الاستشعاردقة قياس التيار الرئيسي ≤ ± 1.0 في المائة s.p . ( 25 ٪ - 100 ٪ f.s . ) تكرار معيار الصناعة المنتجات ( ≤ ± 0.2 في المائة f.s . ) .
مبدأ القياس الحراريباستخدام اثنين من أجهزة استشعار درجة الحرارة ، واحد هو قياس درجة الحرارة الأولية من الغاز ، والآخر هو قياس درجة حرارة الغاز الساخن ، من خلال حساب الفرق في درجة الحرارة ، جنبا إلى جنب مع السعة الحرارية النوعية من الغاز ، دقة حساب معدل تدفق الغاز الشامل ، لا تحتاج إلى تعويض الضغط ودرجة الحرارة التغييرات ، وتحسين دقة القياس1منتدى
مبدأ قياس الضغط التفاضليفرق الضغط استشعار التدفق في الوقت الحقيقي قياس تدفق الغاز من خلال تدفق عنصر اختناق الضغط التفاضلي لحساب حجم تدفق الغاز ، صمام التحكم وفقا لقياس تدفق الاستشعار وردود الفعل ، دقة ضبط فتح لضمان تدفق الغاز من خلال MFC مطابقة مع القيمة المحددة مسبقا2منتدى
عالية الدقة قياسباستخدام تكنولوجيا الاستشعار المتقدمة وتكنولوجيا التصنيع ، يمكن تحقيق دقة عالية قياس ومراقبة تدفق الغاز ، قياس خطأ يمكن أن تكون منخفضة مثل ± 0.5 في المائة قراءة التكرار يمكن أن تصل إلى ± 0.1 في المائة ، مثل أشباه الموصلات gaoduan لتلبية متطلبات صارمة على تدفق النانو تقلب3منتدى
رد سريعمجهزة PID تحكم عالية السرعة صمام الملف اللولبي ، هذه المكونات يمكن أن تكون في ميلي ثانية واحدة في الوقت المناسب لتصحيح تدفق الانحراف ، زمن الاستجابة عادة أقل من 100 مللي ثانية ، يمكن التعامل مع مجموعة متنوعة من التغيرات الدينامية في الوقت المناسب لضمان استقرار تدفق1منتدى
مجموعة واسعةمجموعة واسعة من التغطية ، من الصغيرة إلى عالية السرعة تدفق السيناريوهات يمكن تطبيقها ، على سبيل المثال ، يمكن أن تغطي مجموعة من 0.1sccm إلى 20000slpm لتلبية احتياجات مختلف التطبيقات3منتدى
الغاز متعددة متوافقةدعم مجموعة متنوعة من الغاز قياس ومراقبة دقيقة ، مثل ن ₂ ، ع ، ح ₂ sih ₄ , nh ₃ , CF ₄ , وغيرها من الغازات الشائعة ، من خلال معايرة الغاز متعددة التكنولوجيا لضمان أن الغاز المختلفة في قياس دقة عالية14منتدى
استقرار جيدالمكونات الرئيسية مثل أجهزة الاستشعار وعناصر التدفئة عادة ما تعتمد على درجة حرارة ثابتة تكنولوجيا التحكم للحد من تأثير درجة الحرارة الانجراف على دقة القياس . وفي الوقت نفسه ، يتم اعتماد تكنولوجيا اللحام بالليزر لتصنيع قناة تدفق ، وبالتالي تجنب تسرب الظاهرة بفعالية ، وبالتالي ضمان دقة قياس النتائج والاستقرار على المدى الطويل .1منتدى
واجهة الاتصالات المتعددةمجهزة RS485 ، PROFIBUS وغيرها من واجهات الاتصالات ، ودعم شاشة تعمل باللمس في الوقت الحقيقي عرض درجة الحرارة ، الضغط ، الحالة القياسية / حالة تدفق وغيرها من المعالم ، لتسهيل عملية المراقبة عن بعد للمستخدمين ، يمكن أن تكون متكاملة مع مجموعة متنوعة من أنظمة التحكم الآلي3منتدى
تصنيع أشباه الموصلات والالكترونياتفي عملية تصنيع رقاقة ، الأمراض القلبية الوعائية / الترسيب الفيزيائي للبخار ، etching ، معدل تدفق الغاز يمكن السيطرة عليها بدقة لضمان استقرار العملية و أداء رقاقة .
الصناعة الكيميائية والصيدلانيةتستخدم للسيطرة على تدفق الغاز في المفاعل ، مثل o ₂ ، co ₂ ، الخ ، وتحسين معدل التفاعل وجودة المنتج .
الطاقة الجديدة وإنتاج خلايا الوقودتنظيم تدفق الهيدروجين والأكسجين ، وتحسين كفاءة رد الفعل الكهروكيميائية و انتاج الطاقة من البطارية ، ولكن أيضا يمكن أن تستخدم للسيطرة على عملية التحليل الكهربائي الأكسجين والهيدروجين الانفصال و معدل التدفق ، فضلا عن إدارة شركة̀التقاط وضغط تدفق الغاز .
الرصد البيئي والمختبراتتوفير مستوى تدفق الغاز اللوني للغاز ( م ع ) ، مطياف الكتلة ( ماجستير ) وغيرها من المعدات ، ويمكن أن تستخدم أيضا في دقة التحكم في تدفق الغاز معدات الرصد البيئي ، مثل pm2.5 المركبات العضوية المتطايرة الكشف .
