ف سلسلة MFC تحكم تدفق الشامل MFC يمكن استخدامها في تصنيع أشباه الموصلات في المرحلة السابقة ، مثل etch ، الترسيب الفيزيائي للبخار ، المدة ، MOCVD ، IMP وغيرها من المعدات ، ولكن أيضا في مجال الطاقة الضوئية ، فراغ طلاء ، وغيرها من المجالات لديها سوق كبيرة . إن rmfc يمكن أن توفر أعلى معدل العائد من خلال دقة التحكم في تدفق الغاز .
كتلة تحكم تدفقMFC ع سلسلة
ع سلسلة MFCكتلة تحكم تدفقنماذج المنفعة هي معدات عالية الأداء والموثوقية في مجال التحكم في تدفق الغاز . وفيما يلي عرض لبعض خصائصه وجوانب التطبيق :دقة القياس هو تحسين تصميم صمام واحد + فرق الضغط + موقف الاستشعار . س .(��% - ���% F.S.)سرعة الاستجابة ≤ MS ���(��% - ���% ف.س).
عالية الدقة التحكماعتماد متقدمة تكنولوجيا الاستشعار والتحكم في الحساب ، يمكن تحقيق دقة عالية كتلة الغاز التحكم في التدفق ، يمكن التحكم في قياس الخطأ في مستوى منخفض ، وتلبية مختلف متطلبات عملية عالية الدقة تدفق2منتدى
رد سريعمع أقصر وقت الاستجابة ، يمكن أن تستجيب بسرعة للتغيرات في معدل التدفق ، وسرعة ضبط معدل تدفق الغاز ، وضمان عملية الاستقرار والاتساق2منتدى
مجموعة واسعةمجموعة واسعة من التغطية ، يمكن أن تستخدم في مختلف التطبيقات من الصغيرة إلى الكبيرة ، يمكن أن تلبي مجموعة متنوعة من العمليات على حجم تدفق الغاز متطلبات مختلفة2منتدى
الغاز متعددة متوافقةالمدمج في قاعدة بيانات متعددة من الغاز ، ودعم مجموعة متنوعة من أنواع مختلفة من الغاز ، لا تحتاج إلى دليل معقد الإعداد والتحويل ، يمكن بسهولة التبديل بين الغازات المختلفة للتحكم في التدفق2منتدى
التكيف البيئي الجيد: اعتماد مواد ذات جودة عالية وتصميم ، مع أفضل مقاومة التآكل ومكافحة التشويش القدرة ، يمكن أن تعمل بثبات في ظل ظروف بيئية مختلفة ، والتكيف مع مجموعة متنوعة من البيئات الصناعية2منتدى
عملية مريحة والاتصالاتمجهزة بديهية واجهة التشغيل ، من السهل على المستخدم إعداد المعلمة والرصد ، وفي الوقت نفسه دعم مجموعة متنوعة من بروتوكولات الاتصال ، يمكن بسهولة مع الكمبيوتر المضيف أو غيرها من نظم التحكم في التكامل ، وتحقيق التشغيل عن بعد والتحكم الآلي .
تصنيع أشباه الموصلاتفي عملية أشباه الموصلات ، مثل النقش ، ترسيب الأبخرة الكيميائية ( CVD ) المادية بخار ترسب ( الترسيب الفيزيائي للبخار ) وغيرها من العمليات ، دقة التحكم في تدفق الغاز من مختلف العمليات ، من أجل ضمان الجودة والاتساق في رقاقة تصنيع . على سبيل المثال ، في عملية النقش ، النقش تدفق الغاز مثل رابع فلوريد الكربون ، سادس فلوريد الكبريت ، وما إلى ذلك يتم التحكم بدقة لضمان أن رد فعل الحفر تتم في معدل محدد سلفا و الاتجاه . في عملية الأمراض القلبية الوعائية ، سيلان ، والأمونيا وغيرها من الغازات المتفاعلة يمكن التحكم بدقة لضمان التركيب الكيميائي ، سمك ونوعية الأفلام المودعة تصل إلى المعايير .
الطب الحيويفي مجال البحث والتطوير من المخدرات ، التخمير البيولوجي ، وما إلى ذلك ، يمكن أن تستخدم للسيطرة على تدفق الغاز المختلفة بدقة ، مثل التحكم في نسبة الأكسجين وثاني أكسيد الكربون وغيرها من الغازات في عملية زراعة الخلايا ، وذلك لخلق بيئة مناسبة لنمو الخلايا . في إنتاج المخدرات ، إضافة دقيقة تتبع كاشف الغاز يتطلب أيضا عالية الدقة MFC لتحقيق .
إنتاج المواد الكيميائيةفي عملية التوليف الكيميائية ، والمواد الكيميائية غرامة ، وما إلى ذلك ، فإنه يستخدم للتحكم في معدل تدفق الغاز والمواد الخام المختلفة لضمان سلاسة التفاعل الكيميائي واستقرار جودة المنتج . على سبيل المثال ، في بعض التفاعلات العضوية الاصطناعية ، معدل تدفق الغاز مثل الهيدروجين والنيتروجين يمكن التحكم بدقة من أجل ضبط معدل التفاعل والانتقائية .
الطاقة الجديدةفي مجال الطاقة الجديدة ، مثل إنتاج واختبار خلايا الوقود ، من الضروري السيطرة على تدفق غاز الهيدروجين والأكسجين بدقة لضمان أداء واستقرار خلايا الوقود . في عملية تصنيع الخلايا الشمسية ، MFC يمكن استخدامها للسيطرة على تدفق الغاز
