كتلة تحكم تدفق

قابلة للتفاوضتحديث12/13

نموذج

طبيعة المصنع: المنتجين

فئة المنتج

مكان المنشأ

استشارة عبر الإنترنت

نظرة عامة

كتلة تحكم تدفق سلسلة الخامس MFC هو جهاز يستخدم للتحكم في تدفق الغاز الشامل بدقة . MFC يمكن استخدامها في عملية تصنيع أشباه الموصلات في المرحلة السابقة ، مثل etch ، الترسيب الفيزيائي للبخار ، المدة ، MOCVD ، عفريت ، الخ . إن rmfc يمكن أن توفر أعلى معدل العائد من خلال دقة التحكم في تدفق الغاز .

تفاصيل المنتج

كتلة تحكم تدفقف سلسلة MFC

كتلة تحكم تدفقvg80 سلسلة MFC هو عنصر التحكم في تدفق الغاز الشامل ، مع الخصائص التالية1س

ديزاين دوت" صمام مزدوج + انخفاض الضغط + موقف الاستشعار " دوت التصميم .
اداء يويوسرعة الاستجابة السريعة ، بدء وإيقاف الوقت ≤ 100ms ؛ قياس دقة عالية ، يمكن أن تصل إلى ± 0.5 في المائة s.p . قياس مجموعة واسعة ، في 2-100 ٪ و . التشخيص الذاتي والقدرة على صيانة منخفضة التكلفة .

تطبيق المشهد :MFC ليس فقط يمكن أن تستخدم في تصنيع أشباه الموصلات ، مثل etch ، الترسيب الفيزيائي للبخار ، المدة ، MOCVD ، عفريت ، الخ ، ولكن أيضا لديها سوق كبيرة في مجال الطاقة الضوئية ، فراغ طلاء وهلم جرا .MFC يمكن أن توفر أعلى معدل العائد من خلال مراقبة دقيقة من تدفق الغاز .

هذه السلسلة من المنتجات يمكن أن تستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات etch ( النقش ) ، الأمراض القلبية الوعائية ( ترسيب الأبخرة الكيميائية ) ، الترسيب الفيزيائي للبخار ( المادية بخار ترسب ) ، المدة ( للطبقة الذرية ترسب ) ، MOCVD ( المعادن العضوية ترسيب الأبخرة الكيميائية ) وغيرها من المعدات العملية ، ولكن أيضا مناسبة ( مثل mpcvd ميكروويف ، مثل البلازما ترسيب الأبخرة الكيميائية ) ، ذوبان الجليد والتجفيف ، وتنقية الكوارتز ، ومعالجة النفايات الطبية وغيرها من المجالات .

质量流量控制器

منتج مماثل يوصي