أشباه الموصلات Showerhead ، واسمه الصيني هو رئيس الرش ، توزيع الغاز أو الغاز القرص القرص ، هو العنصر الأساسي في تصنيع أشباه الموصلات المعدات ، ولعب دورا رئيسيا في عملية إنتاج أشباه الموصلات 12 . فائدة نموذج يمكن استخدامها في معدات تصنيع أشباه الموصلات قبل مثل ETCH ، الأمراض القلبية الوعائية ، الخ . اختراع يمكن أن توفر أعلى عملية الاتساق والاستقرار والتكرار .
أجزاء معدنيةshowerhead الصينيةرئيس الرش ، توزيع الغاز أو الغاز زي القرص القرص
رئيس الرش ، توزيع الغاز أو الغاز القرص القرص ، هو العنصر الأساسي في تصنيع أشباه الموصلات المعدات ، ويلعب دورا رئيسيا في عملية تصنيع أشباه الموصلات .12وفيما يلي وصف تفصيلي لها :
تصميم هيكل
هيكل microporousأشباه الموصلات showerhead السطح مغطى بمئات الآلاف من خلال الثقوب الصغيرة ، عادة ما تكون بين 0.2 و 6 مم . حجم , توزيع , شكل و زاوية حقن هذه micropores مصممة بدقة وفقا لعملية محددة لضمان أن الغاز يمكن توزيعها بشكل موحد في رد فعل الدائرة .2منتدى
قناة الغازهناك بنية معقدة من الغاز داخل القناة لتوجيه وتوزيع الغازات المختلفة ، بحيث يمكن أن تصل إلى رد فعل الغرفة قبل الاختلاط الكامل و توزيع موحد لتلبية عملية أشباه الموصلات على تدفق الغاز وتركيز المتطلبات الدقيقة .
تصنيف المواد1
ميتال شوويرهيدالمواد : سبائك الألومنيوم ، الفولاذ المقاوم للصدأ ، النيكل ، الخ ، من بينها ، سبائك الألومنيوم هو zuiguang المواد المستخدمة على نطاق واسع ، لأن لديها الموصلية الحرارية جيدة ، قوية القدرة المضادة للتآكل ، مصدر واسعة وسهلة التجهيز .
شوويرهيد اللافلزيةالمواد : بما في ذلك كربيد السيليكون ( الأمراض القلبية الوعائية كذا ) ، أحادية السليكون ، زجاج الكوارتز ، السيراميك عالية النقاء ، وما إلى ذلك ، تستخدم أساسا في رقاقة تجهيز المعدات العملية الرئيسية في الموقع ، ونوعية المواد وقطع الغيار بعد المعالجة ، ولا سيما ثقب الاتساق الاحتياجات jigao . . . . . . .
وظيفة عمل
توزيع الغاز موحدةفائدة نموذج يتميز في ذلك : مختلف الغازات العملية بالتساوي رش على سطح رقاقة في دائرة رد الفعل ، وبالتالي ضمان مناطق مختلفة من رقاقة يمكن أن يكون بالتساوي " اغتسل " في عملية الغازات ، وبالتالي تحسين كفاءة الإنتاج وجودة المنتج ، وضمان التوحيد والاتساق من ترسب الفيلم طبقة .2منتدى
المشاركة في التفاعلات الكيميائيةفي عملية ترسيب الأبخرة الكيميائية ( CVD ) ، Showerhead يمزج ويرش مختلف السلائف الغاز على سطح الركيزة ، مما يؤدي إلى تفاعل كيميائي في ظل ظروف معينة لتشكيل الأفلام المطلوبة ، مثل أكسيد السيليكون ، السيليكون متعدد الكريستالات ، وأكاسيد المعادن ، الخ .2منتدى
التحكم في بيئة التفاعلفائدة نموذج يستخدم للتحكم في الغلاف الجوي ودرجة الحرارة في دائرة رد الفعل ، وتوفير دقة خليط الغاز ، وتوليد الغاز موحدة في الموقف المطلوب ، وضمان توزيع الغاز موحدة في دائرة رد الفعل ، وتحقيق الاستقرار في عملية الترسيب .2منتدى
-
تشكيل حقل كهربائي موحدفي البلازما بمساعدة العمليات ( مثل PECVD ، التنميش الجاف ) ، Showerhead ، كجزء من القطب ، يولد مجال كهربائي موحد من خلال الترددات اللاسلكية مصدر الطاقة ، وتعزيز توزيع موحد من البلازما ، وبالتالي تعزيز التوحيد من النقش أو الترسيب .2منتدى
مجال التطبيق
عملية النقشفي النقش المعدات ، Showerhead يستخدم للسيطرة على تدفق وتوزيع النقش الغاز بدقة ، وضمان دقة النقش على سطح رقاقة على شكل الدائرة المطلوبة نمط وهيكل .4منتدى
عملية الترسيبعلى سبيل المثال ، الأمراض القلبية الوعائية ، الترسيب الفيزيائي للبخار ( الترسيب الفيزيائي للبخار ) ، وما إلى ذلك ، showerhead موحد ينقل السلائف الغاز من المواد المودعة على سطح رقاقة ، وبالتالي تحقيق نمو وترسب الفيلم .2منتدى
عملية التنظيففي أشباه الموصلات معدات التنظيف ، showerhead يمكن رش سائل التنظيف أو الغاز بالتساوي على سطح رقاقة ، وإزالة الشوائب والملوثات السطحية ، لضمان نظافة رقاقة .
